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采用真空发生器等真空脱气装置可将各类清洗剂中的残存溶氧量降到2mg/L以下，经过真空脱气处理后的清洗剂用于超声波清洗的效率大大提高，特别是对形状复杂、孔隙细小的精密零件清洗效果尤为明显。
一、清洗能力强
大连超声波为提高清洗效果，碳氢溶剂用于工业清洗的最大障碍是沸点高、闪点低，是用溶液蒸汽对工件进行气相清洗，在清洗槽底部安装超声波发生器，使溶解在清洗溶液中的油污不会残留在工件表面。 使碳氢溶剂不能燃烧。
二、干燥速度快
在干燥槽内先用高温蒸汽对工件加热，清洗更彻底。真空状态也对溶液脱气，使溶液完全浸入工件的每个部位，使超声波效率提高。机械摆动。传动机构使工件在清洗槽中上下左右摆动，使污物更快脱离工件。
三、溶剂再生使用
真空清洗干燥机采用多段式真空蒸馏再生装置。
四、安全性高
真空清洗干燥机通过使用防爆电机、防爆开关、导热油间接加热、可燃气体浓度报警、机门自动封闭、电源自动切断及自动灭火等装置确保使用安全。
五、溶剂消耗低
大连超声波在抽真空和干燥过程中通过冷凝回收装置回收溶剂气体，使碳氢溶剂的沸点降低到80℃以下，在真空中加热蒸发，同时在真空状态下氧气稀薄，使其具有其他清洗方法不可企及的优势。
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